真空爐泄漏檢測的步驟是：
　　1、在開始任何檢測之前，都要確保氦泄漏檢測儀經過標定(使用標準漏孔進行檢查)且性能正常。向檢測儀外殼內部噴入少量氣體，以確認檢測儀本身沒有任何泄漏。另外，也要檢查泄漏檢測儀與真空爐連接點的泄漏情況。
　　2、在球閥處于關閉的狀態下將泄漏檢測儀連接到粗抽管路的端口上。
　　3、確認擴散泵和粗抽泵的水路已經打開。
　　4、啟動維持泵和粗抽泵。
　　5、在啟動擴散泵前手動打開前級管路，檢查其泄漏情況。完成這項檢查后要確保關閉前級管路閥。
　　6、慢慢打開球閥，使氦泄漏檢測儀與系統接通。
　　7、向前級管路和粗抽系統的所有焊縫、螺紋接口和法蘭噴吹少量氦氣，檢查這些部位的泄漏情況。
　　8、對這項初步檢測發現的任何泄漏進行修復。
　　9、如果發現并修復了任何泄漏，則重復執行步驟5)–7)并再次檢查泄漏情況。
　　10、如果未發現新的泄漏，就關閉泄漏檢測儀球閥，啟動擴散泵，將其預熱45分鐘。
　　11、開始正式檢測，將爐室抽真空到水平。
　　12、如果爐室達不到高真空度，略微打開通往泄漏檢測儀的球閥，對爐室、增壓泵泵殼、架空管路和真空切換管路上的所有法蘭、螺紋接口和焊縫進行檢查。對這一步發現的任何泄漏進行修復。
　　13、現在以較大流量噴吹氦氣，對整個系統進行仔細檢查。
　　14、如果未發現新的泄漏，就關閉通往泄漏檢測儀的球閥，將檢測儀與系統脫開。
　　15、現在，真空爐應當得到了全面檢查，可以為恢復生產作好準備。
　　16、如果沒有發現外部氦氣泄漏，但泄漏率測試結果仍然顯示爐室的泄漏率較高，還有其他幾種可能性：
　　1)氣體通過氣體回充閥或分壓閥(比如氮氣或氬氣)進入爐室。拆下這些閥，檢查是否有灰塵、密封或膜片是否完好。
　　2)從氣冷式換熱器向真空中漏水。將換熱器從真空爐上拆下，檢查釬焊接合部位是否有水積聚。用空氣對換熱器加壓到大約100磅/平方英寸表壓，在所有釬焊部位刷上肥皂水看是否產生氣泡。如果有必要，將換熱器浸入水槽中，檢查是否有氣泡冒出。浸沒在水中后，換熱器在重新安裝到真空爐系統中之前必須在加熱爐內徹底烘干。這時，要在300?F下保持4小時，以使任何殘余的水分完全蒸發。
　　17、如果所有這些措施均不見效，則應考慮水從爐室水套漏入真空的可能性。水也可能從其他水套漏入真空，比如增壓泵或換熱器水套。拆下高溫區的所有部件，檢查是否有漏水產生的積水痕跡。如果沒有發現明顯的痕跡，用空氣對水套加壓到大約30磅/平方英寸表壓，在所有焊縫和接合部位刷上肥皂水看是否產生氣泡。有時，爐室中心會因出現裂紋甚至腐蝕而產生泄漏。爐室存在的所有泄漏都必須焊接修復和進行檢測，不能有任何氣泡產生。
　　18、從換熱器、真空室或其他水套漏入真空的水通常會使粗抽泵油變色(泄漏嚴重時變成乳白色，輕微時略有褪色)。如果漏水嚴重，爐室將不能抽真空到1托以下。如果爐室或換熱器外殼的底部積聚了游離水，它們會逐漸凝結成冰。有時，看上去就像是爐室或換熱器箱體的空氣側結了霜。
　　請記住，氦泄漏檢測儀的響應時間只是反映了泄漏的面積，準確的泄漏位置必須通過進一步分析才能確定。同一個區域常常存在著一處以上的泄漏。
　　如果使用氦泄漏檢測儀未發現任何泄漏，這并不意味著肯定沒有泄漏。要記住，檢測手段是壓升率測試。