真空爐常用真空儀表主要有兩大類：一是真空測量儀表，也稱真空計；二是真空系統供氣流量儀表，也稱氣體流量計。     

1．真空測量儀表 

(1)靜態變形真空計(也稱彈性元件真空計)  利用與真空相連的容器表面受到大氣的作用，以產生彈性變形來測量壓強。 

(2)靜態液位真空計  利用u形管兩端的液面差來測量壓強。     

(3)壓縮式真空計  其原理是在U形管的基礎上再應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經過等溫壓縮使之壓力增加，以便用u形管真空計測量，然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。     

(4)熱傳導真空計利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關的原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。 

(5)熱輻射真空計利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關的原理制成。     

(6)電離真空計利用低壓下氣體分子被熱粒子碰撞而電離，產生的離子流隨壓強而變化的原理制成，如熱陰極電離真空汁、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。      

(7)放電管指示器利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度，一般僅能作為定性測量。 

(8)其他真空計有振膜式真空計、磁懸浮轉子真空計、場致顯微儀、四極質譜計、回旋質譜計和射頻質譜計等。     

2．真空系統供氣流量儀表 

(1)氣體流量計  用真空爐進行滲碳、滲氮等化學熱處理工藝時，需要向真空室內輸入氣體或液體滲劑，通常使用轉子流量計檢測與控制流量。    

(2)真空針閥 真空微調閥用來調節進入真空室內的氣體或液體介質的流量，閥體通常必須用不銹鋼制造。