真空爐整體可大致分為六大組成部分為：爐體、加熱室、充放氣系統、水冷系統、控制系統和真空系統。 

     爐體主要包括爐殼和傳送裝置。爐殼鋼板的選擇主要是根據爐體承受的壓強來決定的，壓力越高就要選擇相對較厚的鋼板；傳送裝置可分為立式的絲桿傳送和臥式的鏈條傳送。

    加熱室包括保溫屏、加熱元件、水冷電極、連接板、支架桿、緊壓螺母、爐床、爐床支柱、導電桿、導電桿接頭等。保溫屏一般分為金屬和石墨兩大類。不充氣的情況下石墨保溫屏采用軟氈的形式；充氣的情況下保溫屏要采用復合硬氈。金屬類保溫屏在低溫的情況下選用不銹鋼材料，高溫的時候要采用鉬等耐高溫材料。加熱室其他物品一般采用高強石墨，既要保障它耐高溫、強度大又要保證材料價格便宜。 

    充放氣系統主要包括：氣瓶、充氣管道、充氣閥、放氣閥等。充氣閥的主要作用是：開關氣路，控制氣流大小，定量充氣的作用。 

    水冷系統主要包括水流量計和水壓表。其結構為冷壁式結構，即在雙層爐壁之間要不間歇的循環通水來帶走爐壁升溫過程中產生的熱量，防止爐壁升溫過高。在進水口每一路都要有水流量計，確保能觀察到每路水循環的狀態。 

    控制系統一般主要包括：PLC、控溫表、真空計配套規管、無紙記錄儀、低壓電器、工控機、模擬板等。PLC的作用就是控制傳輸我們所需要的各個動作的指令，是總控制中心。控溫表主要是在升溫和保 溫過程中來調節溫度的大小，達到我們需要的溫度。衡量一個真空爐最重要的一個標準就是真空度。真空規管就是測量真空度的傳感器，真空計是顯示和控制部分。真空規管將測量到的真空度值以電信號傳給真空計，真空計把電信號轉換成相應的真空度數字值，并顯示出來。有的真空計還可以輸出自動控制信號。真空規管又可分為電離規管和電阻規管。電離規管能準確測量出1pa以下的真空度大小；電阻規管能準確測量出1pa以上的真空度大小。 

    真空系統主要包括：機械泵、羅茨泵、擴散泵、分子泵、真空閥和電磁壓差閥等。機械泵分為旋片泵和滑閥泵為一級泵，可以單獨使用。羅茨泵為二級泵，不可以單獨使用，必須有前級泵。擴散泵和分子泵抽取的極限壓強更小，可使所抽容器達到更高的真空度。泵抽速大小的選取一般根據所抽容積的大小和極限真空度。真空閥的主要作用是將真空爐內部與外界進行隔開或聯通的裝置，可以使泵停止工作期間真空爐內依然為真空狀態。